半導(dǎo)體是指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料。我們?nèi)粘Ｉ钪械碾娮赢a(chǎn)品，如計(jì)算機(jī)、移動(dòng)電話等當(dāng)中的核心單元都和半導(dǎo)體有著極為密切的聯(lián)系。
在半導(dǎo)體制造的多個(gè)工藝環(huán)節(jié)中，包括刻蝕、鍍膜等等。為了提高半導(dǎo)體制造過程的精度和均勻性，半導(dǎo)體工藝必須在極度受控的真空環(huán)境中運(yùn)行。而獲得真空環(huán)境所需的設(shè)備即為真空泵。
今天要給大家介紹的是安川變頻器產(chǎn)品在真空泵設(shè)備中的應(yīng)用。
半導(dǎo)體用干式真空泵設(shè)備
半導(dǎo)體成膜工藝
半導(dǎo)體用真空泵一般容易存在啟動(dòng)、加速響應(yīng)慢，抽速不夠穩(wěn)定；運(yùn)行效率不高；開放大氣時(shí)易發(fā)生過載、過流故障而停機(jī)；面對(duì)雷雨季節(jié)及供電環(huán)境不好時(shí)，易因瞬時(shí)停電或電壓暫降而造成真空泵停機(jī)，造成半導(dǎo)體生產(chǎn)損失。
安川變頻器在國內(nèi)外的真空泵設(shè)備上廣泛應(yīng)用，業(yè)內(nèi)知名度高。能夠使半導(dǎo)體用真空泵在不同的半導(dǎo)體工藝下，穩(wěn)定、高效運(yùn)行，滿足客戶需求。
以上是關(guān)于真空泵行業(yè)的案例介紹。除此之外，安川也會(huì)根據(jù)客戶的需求提供定制化的方案與服務(wù)，敬請(qǐng)期待。
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